精餾，將工業(yè)無水氟化氫液體通入精餾釜，用氮氣置換精餾釜中的空氣，控制精餾釜內壓力≤０．１Ｍｐａ，加入高錳酸鉀，高錳酸鉀的加量占工業(yè)無水氟化氫加量的０.６－１重量％，攪拌１０分鐘±５分鐘，靜止２０分鐘±５分鐘，使工業(yè)無水氟化氫中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成難以揮發(fā)的化合物；然后加入３０重量％的過氧化氫，過氧化氫占工業(yè)無水氟化氫加量的０．５－５重量％，攪拌１０分鐘±５分鐘，靜止２０分鐘±５分鐘；升溫至６０－８０℃，氟化氫液體氣化生成純化的氟化氫氣體。

冷卻過濾，將出精餾釜的純化的氟化氫氣體通入冷卻器進行冷卻并過濾，冷卻器底部布滿聚四氟乙稀填料，對氟化氫氣體進行過濾，通過降溫把已經純化后的氟化氫氣體轉換成氣液相臨界狀態(tài)，使其中還存有的少量雜質進行分離，雜質部分回流至精餾釜，經冷卻過濾得再次純化的氟化氫氣體進入吸收塔。
吸收塔內注入去離子水，吸收塔底部設置布氣盤管，將出冷卻器的氟化氫氣體通入吸收塔底部的布氣盤管，由布氣盤管管壁上的布氣孔釋放出來后再由去離子水吸收制成氫氟酸半成品。過濾，出吸收塔的氫氟酸半成品通入０.０５－０.２μｍ的過濾器過濾后得到超高純氫氟酸成品。